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用于输送消耗性部件至衬底处理系统的环存储站包含外壳，外壳包含基板与设置于基板上方的旋转板。末端执行器开口被设置于外壳的第一侧处而服务窗开口被设置于外壳的第二侧处。成组的指支撑结构被连接至旋转板。每一指支撑结构包含支撑柱和设置于其上的支撑指。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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