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下载晶片测试机的测片台的技术资料

文档序号:3227854

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本实用新型涉及一种光学晶片测试机的测片台,包括托台、测片台面,U形支架安装于托台上,对称安装在气爪的两连接臂上各安装一根归正杆,连接臂上各安装一归正杆间距调节螺钉(7),测片台面上开有气孔,与真空接头连接。本实用新型结构优化,操作简便,降低...
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