下载一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒的技术资料

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本实用新型公开了一种用于单晶硅晶圆拉制的大口径石英导流筒,包括导流筒和防护罩,所述导流筒底部设有固定圈,所述导流筒顶部设有石英盖,所述防护罩一侧顶部设置有托架,所述石英盖表面中心位置通过预留孔贯穿设置有T型搅杆。该导流筒具有防堵塞清理机构,...
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