温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种坩埚及热场组件，其中，坩埚包括主体，所述主体包括底壁，所述底壁具有顶部开口的容腔，所述容腔的内表面为劣弧球冠或半球面状，且所述底壁自所述容腔的内表面的中心向所述开口的厚度逐渐降低。上述方案达到了降低硅棒氧含量的目的。到了降低...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。