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本发明涉及加热器领域，公开了一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。本发明的用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，设有通孔和安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，位于通孔处，加热丝盘嵌入在底板的...
该专利属于上海宏端精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏端精密机械有限公司授权不得商用。

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