温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种具有多重栅极及应变的沟道层的晶体管的结构包括由垂直型半导体层构成的源极、漏极和沟道区所构成的晶体管,以及用以使沟道区中具有一应变的应力层。其中,栅极绝缘层位于垂直型鳍形半导体层的沟道区表面,栅极电极位于栅极绝缘层上,并包覆对应于沟道区的...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种具有多重栅极及应变的沟道层的晶体管的结构包括由垂直型半导体层构成的源极、漏极和沟道区所构成的晶体管,以及用以使沟道区中具有一应变的应力层。其中,栅极绝缘层位于垂直型鳍形半导体层的沟道区表面,栅极电极位于栅极绝缘层上,并包覆对应于沟道区的...