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本发明涉及修整工件表面用的加工制品或抛光垫板，例如抛光或修平半导体器件。该制品包括了渗透有许多聚合微元成分的聚合物基材，每个聚合微元成分中包含有空腔。该制品具有工作表面和贴近工作表面的内层表面。当该制品与工作环境接触时，该制品工作表面上的聚...
该专利属于罗德尔控股公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗德尔控股公司授权不得商用。

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