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本文描述了用于在具有表面特征的衬底的至少一个表面上形成含硅膜(例如但不限于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳掺杂氮化硅或碳掺杂氧化硅膜)的组合物及其使用方法。在一个方面，使用具有本文所述式I或II的化合物沉积含硅膜。用具有本文所述式I或II的化合...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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