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本申请涉及一种射频离子源，包括连接供气管路的放电腔体，设于放电腔体外的射频线圈，设于放电腔体前部的栅网，所述放电腔体的横截面面积大于所述栅网的面积，且所述放电腔体覆盖所述栅网；所述放电腔体通过供气管路导入气体，并在腔体内进行电离后通过所述栅...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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