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使半导体元件免受静电损坏的保护二极管制造技术
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下载使半导体元件免受静电损坏的保护二极管的技术资料
文档序号:3222564
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在P型半导体衬底表面有选择地形成场氧化物层,将半导体衬底表面隔成二个元件形成区。在包括元件形成区的半导体衬底表面形成N↑[-]型外延层。在一个元件形成区表面形成N↑[+]集电极扩散区。在另一个元件形成区表面形成浅结P型基极区。在P型基极表面...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。
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