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一种高性能三元含能薄膜点火换能元制造技术
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文档序号:32222753
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本发明涉及一种高性能三元含能薄膜点火换能元,所述换能元包括基底,基底表面的绝热层,位于绝热层上表面的点火桥膜和金属电极,位于点火桥膜上表面的绝缘层,位于绝缘层上表面的三元含能薄膜层,三元含能薄膜层通过周期性磁控溅射形成。本发明将Al/B/T...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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