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本实用新型涉及制备二维材料的原子层沉积系统技术领域，提供了一种用于制备二维材料的原子层沉积系统，包括工作台，其特征在于：所述工作台上设置有反应腔；送样系统；前驱体源输送系统，用于输送前驱体气源；反应源输送系统，用于输送反应性气源；真空系统，...
该专利属于江苏迈纳德微纳技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迈纳德微纳技术有限公司授权不得商用。

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