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一种制造圆柱形叠式电极的方法，在半导体基片上形成硅膜，在硅膜上面形成绝缘膜，刻蚀所述绝缘膜，开一达到硅膜下面的半导体基片的第一孔，以比第一孔宽的直径贯穿所述绝缘膜形成第二孔，以硅膜作为掩膜开一接触孔，填盖接触孔，形成形状如圆柱形叠式电极的非...
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