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本发明涉及在制造半导体元件的工艺中，用以清除Ｓｐｉｎ－ＯＮ－Ｇｌａｓｓ和感光性树脂组合物的稀释剂组合物，其由丙二醇单烷基醚与单氧羧酸酯，烷基乙酸酯和烷基乳酸酯混合而成。旋转涂覆后，使用本发明的稀释剂组合物，可迅速、彻底地清除基板边缘部位或基...
该专利属于东进瑟弥侃株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东进瑟弥侃株式会社授权不得商用。

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