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在半导体工厂自动化（ＦＡ）系统中控制自动导向小车（ＡＧＶ）的方法，包括：接收并存储改变的工艺设备工作模式信息；在全自动化工作模式下，执行预定半导体工艺处理并发送工艺过程完成信号；产生队列；根据队列检查存储的工艺设备的工作模式信息；如存储的工...
该专利属于现代电子产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过现代电子产业株式会社授权不得商用。

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