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微机械热电堆红外探测器的制造方法技术
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文档序号:3218567
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一种微机械热电堆红外探测器的制造方法,最为关键的工艺是采用正面光刻技术,制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构,且应用绝缘体上单晶硅材料,不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺,提高了热电转换效率,而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。
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