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一种制造包括集成电路器件的电子器件的方法，该集成电路器件具有在一个共同的衬底（２）上提供的微机械开关（１０）和薄膜电路部件（２０）。微机械开关（１０）具有在各自牺牲区上面延伸的接触横梁（１２）。在分配给微机械开关的衬底区中用于形成薄膜电路部...
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