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具有增大栅耦合电容的集成电路制造技术
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文档序号:3215990
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本发明涉及一种具有增大的栅耦合电容的集成电路(100)。所述集成电路(100)包括具有表面(110)的基底(102),该基底(102)具有一条在所述表面(110)下延伸的沟道(106)。一种沟道填充材料(108)设置于所述沟道(106)内并...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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