下载具有增大栅耦合电容的集成电路的技术资料

文档序号:3215990

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种具有增大的栅耦合电容的集成电路(100)。所述集成电路(100)包括具有表面(110)的基底(102),该基底(102)具有一条在所述表面(110)下延伸的沟道(106)。一种沟道填充材料(108)设置于所述沟道(106)内并...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。