下载一种晶圆加工减薄设备的技术资料

文档序号:32151510

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本实用新型提供一种晶圆加工减薄设备,包括:设备主体、加工台、防护罩、研磨头、驱动机构、警示灯、照明灯、操作面板、安装架以及吸附机构,所述防护罩安装在设备主体上端前侧,所述防护罩前表面开设有开口,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:...
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