下载一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置的技术资料

文档序号:32144706

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本实用新型涉及喷涂靶材技术领域,尤其涉及一种用于喷涂靶材的粉尘回收再利用装置。包括真空管,真空管内设置有等离子喷枪,等离子喷枪的前方设置有回收装置;回收装置包括内部为空腔的壳体,壳体一侧的上部铰接有活动板,活动板的下方设置有缺口,缺口的下方...
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