下载多自由度可调的光学减振平台的技术资料

文档序号:32111734

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本发明提供了一种多自由度可调的光学减振平台,包括:安装底座;中间体,通过减振器与安装底座连接;楔铁式调整体,滑动连接于所述中间体;工作台,设置于所述中间体,且其下端面与楔铁式调整体上端面形状适配并接触;升降调节组件;水平调节组件。本发明所涉...
该专利属于中国工程物理研究院应用电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院应用电子学研究所授权不得商用。

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