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本发明涉及一种半导体材料真空多温区控制方法及系统，其中该方法包括设置第一制冷装置和第二制冷装置，第一制冷装置用以控制第一温区的温度，第二制冷装置用以控制第二温区的温度，设置第一散热机构和第二散热机构，第一散热机构与第二散热机构并排设置，第一...
该专利属于广州市腾嘉自动化仪表有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市腾嘉自动化仪表有限公司授权不得商用。

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