下载磁吸式探针卡装置的技术资料

文档序号:32104707

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本实用新型为一种磁吸式探针卡装置,包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上,且探针向下延伸至基板下表面,每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置,测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁,电磁铁设置于晶圆测试平台下方,电磁...
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