下载可扩展的真空室和用于制造可扩展的真空室的方法的技术资料

文档序号:32098873

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本发明涉及一种可扩展的真空室(10),其具有扁平的框架元件(14)和端板(12),并且涉及一种用于制造这种真空室(10)的方法。在轴向方向(R
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