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为了使用有机金属源气体在基底导电材料上形成具有用ＡＢＯ↓［３］表示的钙钛矿型晶体结构的金属氧化物介电膜，在第一沉积条件下，在基底导电材料上形成初始钙钛矿晶核或初始无定形层，所述初始无定形层具有无定形结构；和在第二沉积条件下，在初始晶核或初始...
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