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制作高温超导器件的表面改性方法，含有采用载能粒子束轰击预先形成的材料表面的步骤，其特征在于：用于增加材料表面的平整度，改变被加工材料的组织结构的载能粒子束能量在５－５００００ｅＶ，入射角在５－８５度。...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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