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探针装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3206339
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一种探针装置,包括具有基座(20)和多个探针(10)的梳状探针片,每个探针(10)具有宽于突伸基部(14)的端部(12),该突伸基部(14)通过基座(20)连接于其它突伸基部(14)。通过加宽探针(10)的端部(12),可以防止探针从试件电...
该专利属于山一电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过山一电机株式会社授权不得商用。
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