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防蚀显影组合物制造技术
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文档序号:3205668
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一种防蚀显影组合物,该组合物包括含有1-10%重量的有机碱。1-10%重量的糖化合物和1-10%重量的多元醇的水溶液。...
该专利属于三菱瓦斯化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱瓦斯化学株式会社授权不得商用。
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