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本发明公开了通过从数据库中读取在各个测试衬底上进行的工艺步骤，并从多个为回收各个测试衬底的回收工艺中选择一个回收工艺来回收测试衬底。标识在每个测试衬底上进行的工艺及为每个测试衬底所选择的回收工艺的信息可被存储在测试衬底历史数据库中。将各个测...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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