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在半导体衬底（晶片）固定在载物台上的状态下的这个半导体衬底主面上，对于光平板印刷线的曝光光线的假设焦点平面不产生偏差。将晶片（１０）固定在销夹头（ｐｉｎ　　ｃｈｕｃｋ）（２０）上，接下来，向固定地晶片（１０）上用通过具有设计图案的掩膜的曝光...
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