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一种自对准内埋接触（ＢＣ）对，包括：衬底，具有多个扩散区；氧化物层，露出形成在衬底上的扩散区对；位线，相邻的扩散区之间，并且位于氧化物层上，位线的每一个具有形成在其侧壁上的位线侧壁隔片；第一层间介质（ＩＬＤ）层，在位线和氧化物层上形成；ＢＣ...
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