下载利用激光结晶形成多晶系膜层的方法的技术资料

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一种利用激光结晶形成多晶系膜层的方法,至少包括:    提供一基板,具有一边缘区域及一主要区域;    形成一非晶系膜层于该基板之上,其中该非晶系膜层于该边缘区域的平均厚度大于该主要区域的平均厚度;以及    对该非晶系膜层进行激光退火,以...
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