下载一种电磁波调控装置的技术资料

文档序号:32026565

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本发明提供一种液晶相控阵电磁波调控装置及其制造方法,其包括在诸如馈线、微带线等天线结构上添加金属薄膜器件,器件的膜厚、尺寸、形状、工艺可以根据设计要求进行调整;在玻璃基板上制作微带线层时,使用半导体镀膜工艺,制作相应的元器件,达到提升生产效...
该专利属于南京迪钛飞光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京迪钛飞光电科技有限公司授权不得商用。

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