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使用低介电常数材料膜的半导体器件及其制造方法技术
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下载使用低介电常数材料膜的半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:3202641
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本发明提供一种使用除硅以外的低介电常数基片、可适应工作速度提高的半导体器件。设置由基片(11)和比介电常数低于硅的低介电常数材料膜(12)构成的基体(10)。在基体(10)表面上,通过粘接包含MOS晶体管(30)的半导体元件层来迭层。MOS...
该专利属于佐伊科比株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佐伊科比株式会社授权不得商用。
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