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制造氧化物超导薄膜的方法技术
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文档序号:3201189
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本发明提供了一种制造氧化物超导膜的方法,通过使用激光沉积法而在基质上形成,该方法包括用激光束辐照靶,并因而使从靶中散发的物质沉积在包括单晶基质的基质上,其中将用于靶辐照的激光束的频率分成至少二步。以致可制造出具有高临界电流密度的氧化物超导膜...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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