下载SiGe异质结双极晶体管的制造方法的技术资料

文档序号:3201005

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本发明提供了一种制造包含非选择性生长的SiGe(C)异质结双极晶体管的半导体器件的方法,此方法包括下列步骤:在衬底上形成绝缘层(12,40)以及在绝缘层(12,40)上提供包括导电层(14,42)的层状结构,通过导电层(14,42)腐蚀一个...
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