下载一种8英寸碳化硅单晶的制备方法的技术资料

文档序号:32005844

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本发明公开一种8英寸碳化硅单晶的制备方法,包括以下步骤:提供一反应器,所述反应器具有反应腔,所述反应腔的顶部设有自上至下呈渐扩设置的扩张罩,所述扩张罩的横截面呈圆形,且所述扩张罩的上端直径为6英寸,所述扩张罩的下端直径为8英寸,所述扩张罩的...
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