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本实用新型公开了一种一种化合物半导体单晶生长炉的移动式热屏装置，包括对称设置于炉体内两侧的伺服电机、传动链条、支撑齿轮、固定侧板、升降滑座、热屏和限位开关，所述限位开关设置于所述固定侧板的外侧，所述固定侧板的外侧顶端还设置有所述伺服电机，所...
该专利属于永清县良晶半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过永清县良晶半导体设备有限公司授权不得商用。

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