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本实用新型公开了半导体级硅单晶炉的底部加热器，包括支撑柱，支撑柱的顶部通过安装螺栓安装有加热炉，加热炉的底部固定有安装板，安装板上安装有风机，加热炉的内部设有加热器块，加热块的底部设有加热器支撑，加热器支撑上安装有卡接装置，加热炉的顶部安装...
该专利属于永清县良晶半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过永清县良晶半导体设备有限公司授权不得商用。

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