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本发明公开了一种激光结晶设备（１），其能够以几μｍ的高空间分辨率和几纳秒的高瞬时分辨率进行观察，该设备包括用于将激光照射到设置在衬底（２６）上的薄膜并熔化和结晶该薄膜的结晶光学系统（２），所述激光结晶设备（１）包括：照明光源（３１），设置在...该专利属于株式会社液晶先端技术开发中心所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社液晶先端技术开发中心授权不得商用。
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本发明公开了一种激光结晶设备（１），其能够以几μｍ的高空间分辨率和几纳秒的高瞬时分辨率进行观察，该设备包括用于将激光照射到设置在衬底（２６）上的薄膜并熔化和结晶该薄膜的结晶光学系统（２），所述激光结晶设备（１）包括：照明光源（３１），设置在...