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本发明是关于一种硅上液晶显示器的间隙物与沟渠的制造方法,可用在多步骤蚀刻制程中用来制造硅上液晶显示器的间隙物与沟渠。其中包括提供一硅基板,其上依序具有介电绝缘层与金属画素电极。接着在此金属画素电极上沉积第二介电绝缘层。然后,在此第二介电绝缘...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明是关于一种硅上液晶显示器的间隙物与沟渠的制造方法,可用在多步骤蚀刻制程中用来制造硅上液晶显示器的间隙物与沟渠。其中包括提供一硅基板,其上依序具有介电绝缘层与金属画素电极。接着在此金属画素电极上沉积第二介电绝缘层。然后,在此第二介电绝缘...