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用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置制造方法及图纸
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下载用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置的技术资料
文档序号:31989187
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本实用新型涉及臭氧发生器技术领域,特别涉及用于半导体制造的臭氧发生器的凝水装置,包括主体以及有序填充或无序填充于所述主体的内腔的钢丝;所述主体具有与所述内腔相连通的进气端、出气端和出水端;所述出水端上设置有用于启闭所述出水端的阀门。本实用新...
该专利属于福建汇威环保科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建汇威环保科技有限公司授权不得商用。
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