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本发明公开了一种基于高精度外差干涉的图像探测器像素位置偏差测量装置及方法，属于图像探测器测量技术领域，本方法在真空环境中搭建多光纤通道干涉光路，通过选择不同位置光纤通道，生成多组空间频率的杨氏条纹，条纹图像被探测器直接记录用于计算其像素位置...
该专利属于北京控制工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京控制工程研究所授权不得商用。

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