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一种降低相变存储器编程电流的单元结构,属于微电子领域。本发明包括:集成电路衬底、下电极、硫族化物合金相变层、加热层、上电极、绝缘介质层,在集成电路衬底上设有下电极,上电极设在硫族化物合金相变层上,硫族化物合金相变层和加热层设在绝缘介质层的小...该专利属于上海交通大学;硅存储技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学;硅存储技术公司授权不得商用。
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一种降低相变存储器编程电流的单元结构,属于微电子领域。本发明包括:集成电路衬底、下电极、硫族化物合金相变层、加热层、上电极、绝缘介质层,在集成电路衬底上设有下电极,上电极设在硫族化物合金相变层上,硫族化物合金相变层和加热层设在绝缘介质层的小...