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本发明涉及一种管式抛光压力环，其特征在于：所述管式抛光压力环为具有弹性且形成闭环的管，管内充有适量的液体。当所述压力环受压时，在陶瓷板变形的过程中，压力环中的水发生流动而使压力环也发生形变，这样，陶瓷板上的受力只是大小会发生变化，而作用点和...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。