下载制造具有外部接触连接的半导体元件的方法的技术资料

文档序号:3195247

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依据本发明的方法提供了载体1,在所述载体上在边界线100之间设置一个或多个半导体元件,半导体元件的半导体接触连接区域3位于载体1的第一表面200之上。然后在载体中引入具有倾斜侧壁108的圆锥形沟102,所述倾斜侧壁108沿着边界线100运转...
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