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本发明公开了一种基于线性模型的离轴信号处理方法，其特征在于：信号的拟合处理过程分为ＲＴＲ（ｒｅａｌ ｔｉｍｅｒｅｄｕｃｅ／实时处理）和ＦＰＳ（ｆａｓｔ ｐａｒａｍｅｔｅｒ ｓｏｌｖｅ／快速参数解析）两个执行步骤。其有益效果是，在光刻领...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。