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在液晶显示器中形成薄膜晶体管的工艺中，首先在透明基板上依序形成一层缓冲层以及一层多晶硅层。之后，利用等离子处理的方式在多晶硅层的表面上形成栅极绝缘层，其中等离子可包含氧，氮，或是同时包含两者，而处理的温度约在３００－６００℃之间。接着，在上...
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