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包括具有提高的线性和可制造性的FET的BiFET制造技术
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下载包括具有提高的线性和可制造性的FET的BiFET的技术资料
文档序号:3190961
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根据一个示例性实施例,一种位于衬底上的BiFET,包括位于所述衬底上方的发射极层部分,其中所述发射极层部分包括第一类型的半导体。所述HBT还包括蚀刻停止层的第一部分,其中所述蚀刻停止层的所述第一部分包括InGaP。所述BiFET还包括位于所...
该专利属于斯盖沃克斯瑟路申斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯盖沃克斯瑟路申斯公司授权不得商用。
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