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文档序号:3189503

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一种半导体元件,包括栅极结构、源极区、漏极区与一对介电阻挡层。栅极结构设置于基底上。源极区与漏极区分别设置于栅极结构两侧的基底中,其中在栅极结构下方、且位于在源极区与漏极区之间有通道区。一对介电阻挡层分别设置于栅极结构下方的基底中,且位于源...
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